氦质谱检漏仪运用于半导体设备和资料检漏

　　真空镀膜设备(蒸腾、溅射)、干法雷设备等真空设备在半导体职业的运用越来越广泛（ICP,RIE,PECVD）,热处理设备（合金炉、退火炉）、掺杂设备（离子注合金炉、退火炉）、掺杂设备（离子注的条件，将发挥越来越重要的宠爱。

　　1.半导体设备需求高真空，如磁控溅射台.电子束蒸腾台.ICP.PECVD等候设备。走漏会导致高真空无法抵达或需求很多时刻和精力；

　　2.高真空环境清洁度.水蒸气很少。周围环境中的尘埃、悬浮颗粒或尘埃一旦走漏，就会污染晶体元素，改动半导体的特性，损坏其功能。因而，在半导体器材的出产过程中有必要进行氦质谱走漏检测；

　　3.部分半导体设备应运用有毒或腐蚀性特别气体。氦质谱走漏检测后，这些气体在低走漏坦率空条件下不易走漏。设备可及时铲除无反响气体和气体反响产品，保证人员安全和大气环境。

　　综上所述，氦质谱检漏仪在半导体职业起着至关重要的宠爱。安徽诺益科技出产的氦质谱检漏仪凭仗杰出的质量及安稳的功能已广泛运用在很多职业上，满意各种运用.公司建立了完善的售后服务体系，装备了专业的修理工程师，对客户的服务要求实施24小时呼应，为产品的安稳闻风丧胆供给了有力的保证。